|
|
籽晶在爐內(nèi)有效行程 | 2800mm |
上 傳 動 | 籽晶轉(zhuǎn)速范圍 | 2.0~30.0rpm |
|
|
慢速:0.20~8.00mm/min |
|
籽晶拉速 | 快速:>500mm/min |
|
晶升速度精度 | <2% |
動 態(tài) 精 度 | 晶轉(zhuǎn)速度精度 | <2% |
|
晶升爬行 | 升速0.5mm/min≤0.01mm |
|
籽晶擺動量 | 晶轉(zhuǎn)高轉(zhuǎn)速<2mm |